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CXM100超细磨,光学系统

综述了干涉仪在光学面形,光学系统,像质评价上的一些应用。

结合CXM100-2W式干涉仪的研制,研究了项目所涉及的关键技术。 CXM100-2W移相式斐索干涉仪关键技术研究--《南京理工大学》2008年 【摘要】： 光干涉计量测试技术是一种高精度测量技术,在光学系统光学参数测量上有广泛用途。

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